现有教授一名，副教授，高工五名，在读博士生八名，硕士生十四名。

研究所前身电子束研究室成立于1970年，是学校最早的研究单位之一。先后承担国家自然科学基金、国家自然科学基金重大研究计划项目、国防科工委、中科院、航天部、山东省及企业委托项目四十余项。研究领域涉及微机电系统、计算机控制、激光精密测量、精密机械、电子技术、生物芯片、生物医学仪器等多个领域，研究成果获国家级奖一项，省部级奖十二项，专利二项，培养了大批高技术人才。

从96年以来，《微细加工技术》季刊上电子束技术专栏中的论文平均一半以上由该所撰写，其中半数以上被EI光盘收录，发表论文三百多篇。理论成果获省级一等奖一项，二等奖三项，省教委奖四项。

现主要研究方向为：计算机控制与智能仪器；机器人控制与微机电系统；微米、纳米加工及控制技术；微机电系统加工控制技术；生物芯片加工新技术等。

所 长：张玉林教授

联系电话：0531-88392827